Chips maken een onmisbaar onderdeel uit van elke vorm van elektronica. De steeds verdere miniaturisering van halfgeleidercomponenten maakt het echter noodzakelijk om nieuwe technieken te vinden die de kleinste details in deze componenten zichtbaar kunnen maken. Onderzoekers van TU Delft, ARCNL en ASML werken samen om met behulp van elektronen in plaats van licht de hoogst mogelijke resolutie te behalen. Dit zal uiteindelijk leiden tot efficiëntere productie van nog kleinere halfgeleidercomponenten. Lees het hele artikel via de link in de comments.